SYSTEMES PLASMA ZEPTO – LOW COST PLASMA CLEANER
Description du système
Applications :
Le système Plasma ZEPTO est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 2,6 litres utilisé dans les domaines suivants :
- Micro-fluidique (PDMS)
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- recherche et développement
- semiconducteur
- traitement de plastique
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 425 mm, H 185 mm, P 450 mm
Dimensions de la chambre : Ø 105 mm, P 300 mm
Matière de la chambre : Borosilicate
Volume de la chambre : env. 2,6 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par des vannes à aiguille
Générateur : 40KHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.
Dimensions du système : L 425 mm, H 185 mm, P 450 mm
Dimensions de la chambre : Ø 105 mm, P 300 mm
Matière de la chambre : Borosilicate
Volume de la chambre : env. 2,6 litres
Alimentation de gaz : 1 à 2 canaux de gaz contôlés par des contrôleurs de débit massique (MFC)
Générateur : 40KHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: Le système est contrôlé par un PCCE avec un écran tactile intégré de 7 pouces
Dimensions du système : L 425 mm, H 310 mm, P 450 mm
Dimensions de la chambre : Ø 190mm, H 60 mm
Matière de la chambre : Aluminium
Volume de la chambre : env. 1 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz contrôlés par des vannes à aiguilles
Générateur : 40KHz/100W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Contrôle: manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.