PLASMA SYSTEM TETRA 30 / 50 – PLASMA ETCHER

Description du système

Applications :

Les systèmes Plasma TETRA 30 /50 sont des systèmes d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 30 / 50 litres utilisés dans les domaines suivants :

  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • stérilisation
  • recherche et développement
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de plastique

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Tetra 30 / 50 version 1

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L  600 mm, H 2100 mm, P 800 mm

  • TETRA 30 :

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 305 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 34 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

  • TETRA 50 :

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 620 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 50 litres

Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40/80 kHz de 1000 à 3000W ou 13,56 MHz / 300W ou 2,45 GHz de 850W

Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Tetra 30 / 50 version 2

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L  600 mm, H 2100 mm, P 800 mm

  • TETRA 30 :

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 305 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 34 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

  • TETRA 50 :

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 620 mm

Support de pièce : 1 à 4 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 50 litres

Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40/80 kHz de 1000 à 3000W ou 13,56 MHz / 300W ou 2,45 GHz de 850W

Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

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