PLASMA SYSTEM TETRA 30 / 50 – PLASMA ETCHER
Description du système
Applications :
Les systèmes Plasma TETRA 30 /50 sont des systèmes d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 30 / 50 litres utilisés dans les domaines suivants :
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- stérilisation
- recherche et développement
- traitement des textiles
- semiconducteur
- traitement de plastique
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
- TETRA 30 :
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 305 mm, P 370 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 34 litres
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 35 litres
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 35 litres
Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 34 litres
- TETRA 50 :
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 50 litres
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 620 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 50 litres
Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 50 litres
Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 40/80 kHz de 1000 à 3000W ou 13,56 MHz / 300W ou 2,45 GHz de 850W
Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
- TETRA 30 :
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 305 mm, P 370 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 34 litres
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 35 litres
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 35 litres
Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 34 litres
- TETRA 50 :
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 50 litres
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 620 mm
Support de pièce : 1 à 4 plateaux
Volume de la chambre : env 50 litres
Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 50 litres
Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 40/80 kHz de 1000 à 3000W ou 13,56 MHz / 300W ou 2,45 GHz de 850W
Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.