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PLASMA SYSTEM TETRA 100 – PLASMA ETCHER
Description du système
Applications :
Le système Plasma TETRA 100 est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 100 litres utilisé dans les domaines suivants :
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- stérilisation
- recherche et développement
- traitement des textiles
- semiconducteur
- traitement de plastique
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 10 plateaux
Volume de la chambre : env 100 litres
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 100 litres
Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 80 kHz de 1000 à 3000W – 13,56 MHz de 300W à 1000W – 2,45 GHz de 1000W
Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 65 à 250 m³/h
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm // L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Support de pièce : 1 à 10 plateaux
Volume de la chambre : env 100 litres
Support de pièce : Tambour rotatif
Volume de la chambre : env 100 litres
Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 80 kHz de 1000 à 3000W – 13,56 MHz de 300W à 1000W – 2,45 GHz de 1000W
Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 65 à 250 m³/h
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
