RÉALISATION DE SYSTÈMES SPECIAUX – SPECIAL PLASMA SYSTEMS
Plasma etcher Tetra 2 PC - ROLL TO ROLL
Dimensions du système : L 3491 mm, H 1000 mm, P 1278 mm
Dimensions de la chambre : Ø 90 mm, P 1050 mm
Volume de la chambre : env. 2 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.
Plasma etcher Tetra 15 LF PC
Armoire électrique (avec commande) : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 360 mm, H 150 mm, P 260 mm
Volume de la chambre : env. 15 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle : Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 30 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 800 mm, H 600 mm, P 500 mm
Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 150 mm, P 240 mm
Volume de la chambre : env. 30 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.
Plasma etcher Tetra 100 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm
Dimensions de la chambre : L 700 mm, H 200 mm, P 700 mm
Volume de la chambre : env. 100 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».
Plasma etcher Tetra 120 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 1200 mm, H 150 mm, P 1700 mm
Volume de la chambre : env. 120 litres
Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Ce système dispose d’une porte automatique.
Plasma etcher Tetra 130 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 400 mm, P 810 mm
Volume de la chambre : env. 130 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Propriétés spécifique: Domaine de l’Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.
Plasma etcher Tetra 140 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
Dimensions de la chambre : L 1200 mm, H 700 mm, P 1500 mm
Volume de la chambre : env. 140 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 140 LF PC V2
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 100 mm, P 1400 mm
Volume de la chambre : env. 140 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 150 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm
Volume de la chambre : env. 150 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.
Plasma etcher Tetra 185 LF PC ‘desmearing’
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 665 mm, P 700 mm
Volume de la chambre : env. 185 litres
Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
- ‘Desmearing’* de divers matériaux.
- Nettoyage des surface
- Activation des surfaces métalliques
- 7 baies permettent le traitement simultané de 7 plaques.
- Traitement en production de plaques avant découpe de 460 x 610 mm
* ‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).
Plasma etcher Tetra 210 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm
Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 200 mm, P 1400 mm
Volume de la chambre : env. 210 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 240 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 1700 mm, P 3200 mm
Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 2600 mm
Volume de la chambre : env. 240 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 260 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2500 mm, H 2200 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 650 mm, H 500 mm, P 800 mm
Volume de la chambre : env. 260 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 10 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 375 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 360 mm, P 1900 mm
Volume de la chambre : env. 375 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm
Dimensions de la chambre : L 915 mm, H 750 mm, P 725 mm
Volume de la chambre : env. 400 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Automatisation: Le système dispose d’une porte glissante automatique
Plasma etcher Tetra 420 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm
Dimensions de la chambre : L 750 mm, H 800 mm, P 750 mm
Volume de la chambre : env. 420 litres
Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 4 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 500 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 1500 mm, H 1700 mm, P 200 mm
Volume de la chambre : env. 500 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau).
Contrôle – Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 575 LF PC
Armoire électrique (avec commande) : L 1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm
Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 1200 mm, P 800 mm
Volume de la chambre : env. 575 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC
Dimensions du système : L 600 mm, H 2200 mm, P 1200 mm
Dimensions de la chambre : L 810 mm, H 810 mm, P 925 mm
Volume de la chambre : env. 600 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC V1
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 1000 mm, P 600 mm
Volume de la chambre : env. 600 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC V2
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 1800 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 580 mm, H 730 mm, P 1000 mm
Volume de la chambre : env. 600 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC avec tonneau rotatif V1
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : ∅ 1100 mm, P 700 mm
Volume de la chambre : env. 600 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat:Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 850 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1500 mm, H 2000 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 1300 mm, H 1800 mm, P 400 mm
Volume de la chambre : env. 850 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 40 kHz
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 1200 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm
Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 1000 mm, P 2000 mm
Volume de la chambre : env. 1200 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 3 unité à 40 kHz
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 2000 RF PC
Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm
Volume de la chambre : env. 2000 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 1 unité à 13.56 MHz
Portes substrats: Plus de 10 portes substrats
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 2400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : ∅ 1100, P 2500 mm
Volume de la chambre : env. 2400 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 4400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 1000 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 1350 mm, H 2600 mm, P 1250 mm
Volume de la chambre : env. 4400 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 5600 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 2200 mm, P 1800 mm
Dimensions de la chambre : L 2250 mm, H 2450 mm, P 1000 mm
Volume de la chambre : env. 5600 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7000 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2400 mm, H 2300 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 1400 mm
Volume de la chambre : env. 7000 litres
Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7300 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm
Dimensions de la chambre : L 1400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm
Volume de la chambre : env. 7300 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7500 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 3000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 1500 mm, H 2500 mm, P 2000 mm
Volume de la chambre : env. 7500 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 8000 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm
Dimensions de la chambre : L 1700 mm, H 2800 mm, P 1700 mm
Volume de la chambre : env. 8000 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 12600 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1200 mm, H 2200 mm, P 800 mm
Dimensions de la chambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm
Volume de la chambre : env. 12600 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques
Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)
Porte substrat: Chargement sur un chariot sur rails
Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel