Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane (HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.

Applications :

  • Dépôt de couches hydrophobes
  • Dépôt de couches hydrophiles
  • Dépôt de barrière de diffusion

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Avant traitement plasma

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Pendant le traitement plasma

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Après traitement plasma