PLASMA SYSTEM PICO – PLASMA CLEANER

Description du système

Applications :

Le système plasma Pico est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 5/8 litres utilisé dans les domaines suivants :

  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • Micro-fluidique (PDMS)
  • recherche et développement
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de tous matériaux
  • Analyse de l’amiante
  • électronique
Brochure PICO

  • v1

  • v2

  • v3

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Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Pour tout renseignement complémentaire, contactez-nous

Données techniques Pico version 1

Dimensions du système : L  560 mm, H 320 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Pico version 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Pico version 3

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Matériel de la chambre : Aluminium

Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique ou 2.45 GHz/300W

Pompe à vide : nous consulter

Support de pièce : 1 à 2 plateaux

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.