SYSTEMES PLASMA FEMTO – PLASMA CLEANER
Description du système
Applications :
Le système Plasma FEMTO est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 2,6 litres utilisé dans les domaines suivants :
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- Micro-fluidique (PDMS)
- recherche et développement
- traitement des textiles
- semiconducteur
- traitement de plastique
- Analyse de l’amiante
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 320 mm, H 620 mm, P 600 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale
Dimensions du système : L 560 mm, H 220 mm, P 600 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 560 mm, H 220 mm, P 600 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm
Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 800 mm, H 1700 mm, P 600 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 103 mm, H 103 mm, P 285 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 110 mm, H 120 mm, P 300 mm
Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/200W accord automatique ou 2.45 GHz/300W
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.