PLASMA SYSTEM PICO – PLASMA CLEANER
Description du système
Applications :
Le système plasma Pico est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 5/8 litres utilisé dans les domaines suivants :
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- Micro-fluidique (PDMS)
- recherche et développement
- traitement des textiles
- semiconducteur
- traitement de tous matériaux
- Analyse de l’amiante
- électronique
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 560 mm, H 320 mm, P 520 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 à 2 plateaux
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 560 mm, H 600 mm, P 520 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 à 2 plateaux
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm
Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz
Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm
Matériel de la chambre : Acier inoxydable
Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm
Matériel de la chambre : Aluminium
Dimensions de la chambre : L 150 mm, H 160 mm, P 325 mm
Alimentation de gaz : 1 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)
Générateur : 100kHz/500W ou 13,56 MHz/200W accord automatique ou 2.45 GHz/300W
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 à 2 plateaux
Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.
Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.