Location de systèmes plasma

Le plasma cleaner PICO est un système plasma semi automatique de laboratoire d’une capacité de 5 litres utilisé pour :

• production de petites séries
• l’analyse (SEM, TEM)
• médical
• stérilisation
• recherche et développement
• archéologie
• traitement des textiles
• semiconducteur
• plastique

Le plasma etcher NANO est un système plasma semi automatique d’une capacité de 24 litres utilisé pour :

• La production de moyenne série
• Semiconducteur
• médical
• électronique
• recherche et développement
• électronique
• mécanique de précision
• élastomère
• plastique

Dimensions du système :
L 580 mm, H 650 mm, P 500 mm
Dimensions de la chambre :
Ø 267 mm, P 420 mm
Volume de la chambre :
24 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 300 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold Trivac D8B (8 m3/h)
Support de pièce :
1 plateau
Contrôle semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Plasma system NANO:
Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Plasma system NANO AUTOMATIQUE:
Nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.

Le plasma cleaner TETRA-30-LF, avec sa chambre de 30 litres et son contrôle automatique est généralement utilisé pour des productions de moyennes séries dans des domaines tels que : le nettoyage, la gravure et l’activation.

Dimensions du système :
L 600 mm, H 1100 mm, P 650 mm
Dimensions de la chambre :
L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm (625 mm en option)
Volume de la chambre :
34 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 1000 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe:
Leybold Trivac D16B (16 m3/h)
Support de pièce :
6 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Plasma system TETRA-30-LF système automatique :
construit pour la production, ettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.

Le plasma cleaner TETRA-30-LF-PC, avec sa chambre de 30 litres est généralement utilisé pour des productions de moyennes séries dans des domaines tels que : le nettoyage, la gravure et l’activation.

Dimensions du système :
L 600 mm, H 800 mm, P 650 mm
Dimensions de la chambre :
L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm (625 mm en option)
Volume de la chambre :
34 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 1000 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D16B (16 m3/h)
Support de pièce :
6 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

TETRA-30-LF-PC Contrôlé par PC :
Construit pour la production, nettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Plasma cleaner Tetra-30-LF-PC, système autonome

Dimensions du système :
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm (625 mm en option)
Volume de la chambre :
34 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 1000 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D16B (16 m3/h)
Support de pièce :
6 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Plasma system TETRA-30-LF-PC :
construit pour la production, ettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.

Le plasma etcher TETRA-100-LF, avec sa chambre de 100 litres est généralement utilisé en production dans des domaines tels que : le nettoyage, la gravure et l’activation.

Dimensions du système :
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Volume de la chambre :
100 litres
Alimentation en gaz :
2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 2500 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D40B (40 m3/h)
Support de pièce :
Jusqu’à 10 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable.

Plasma system TETRA-100-LF système automatique :
Construit pour la production, ettoyage, activation, gravure, dépôt , etc.

Plateau avec six étages et tambour rotatif pour des systèmes TETRA

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.

Le plasma etcher de production TETRA-100-LF-PC, avec sa chambre de 100 litres et son contrôle par PC est utilisé en production pour le nettoyage, la gravure, et l’activation.

Dimensions du système :
L 600 mm, H 2200 mm, P 850 mm
Dimensions de la chambre :
L 400 mm, H 400 mm, P 625 mm
Volume de la chambre :
100 litres
Alimentation en gaz :
3 canaux de gaz réglables par contrôleurs de débit massique
générateur :
40 KHz, réglable de 1 à 2500 W
(en option 13.56 MHz ou 2.45 GHz)
Pompe
Leybold D40B (40 m3/h)
Support de pièce :
Jusqu’à 10 plateaux (tambour rotatif en option)
Contrôle automatique et manuel du système par un PC sous Windows.

Plasma system TETRA-100-LF-PC Contrôlé par PC :
Construit pour la production, nettoyage, activation, gravure, dépôt, etc.

Plateau avec six étages et tambour rotatif pour des systèmes TETRA

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.