Générateur
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Pour la technologie plasma, le générateur désigne la source de tension (alternative dans la plupart des cas) qui permet l’excitation du plasma. On différencie trois types de générateurs : les générateurs basse fréquence (40 kHz), les générateurs radio-fréquence (13.56 & 27.12 MHz ) et les générateurs micro-ondes (2.45 GHz).
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