Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane ({glossarbot=enable}HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.

Applications :

  • Dépôt de couches hydrophobes
  • Dépôt de couches hydrophiles
  • Dépôt de barrière de diffusion

     

     

     

    		  

    		 

    Avant traitement plasma

    Pendant le
    traitement plasma

    Après traitement plasma