Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane ({glossarbot=enable}HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.
Applications :
- Dépôt de couches hydrophobes
- Dépôt de couches hydrophiles
- Dépôt de barrière de diffusion
Avant traitement plasma
Pendant le
traitement plasmaAprès traitement plasma