PLASMA SYSTEM TETRA 100 LF – PLASMA ETCHER
Description du système Applications : Le système Plasma TETRA 100 est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 100 litres utilisé dans les domaines suivants :
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Dimensions du système : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 34 litres Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 35 litres Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 50 litres Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm Support de pièce : Tambour rotatif Volume de la chambre : env 34 litres Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC) Générateur : 100/80 kHz de 500 à 3000W – 13,56 MHz de 300W – 2,45 GHz de 600W Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.
Dimensions du système : L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 34 litres Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 35 litres Matériel de la chambre : Acier inoxydable Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm Support de pièce : 1 à 6 plateaux Volume de la chambre : env 50 litres Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm Support de pièce : Tambour rotatif Volume de la chambre : env 34 litres Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC) Générateur : 100/80 kHz de 500 à 3000W – 13,56 MHz de 300W – 2,45 GHz de 600W Pompe à vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.