RÉALISATION DE SYSTÈMES SPECIAUX – SPECIAL PLASMA SYSTEMS
Dimensions du système : L 3491 mm, H 1000 mm, P 1278 mm Dimensions de la chambre : Ø 90 mm, P 1050 mm Volume de la chambre : env. 2 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.
Plasma etcher Tetra 2 PC - ROLL TO ROLL
Armoire électrique (avec commande) : L 600 mm, H 1700 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 360 mm, H 150 mm, P 260 mm Volume de la chambre : env. 15 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle : Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 15 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 800 mm, H 600 mm, P 500 mm Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 150 mm, P 240 mm Volume de la chambre : env. 30 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.
Plasma etcher Tetra 30 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm Dimensions de la chambre : L 700 mm, H 200 mm, P 700 mm Volume de la chambre : env. 100 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».
Plasma etcher Tetra 100 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 1200 mm, H 150 mm, P 1700 mm Volume de la chambre : env. 120 litres Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Ce système dispose d’une porte automatique.
Plasma etcher Tetra 120 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 400 mm, P 810 mm Volume de la chambre : env. 130 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Propriétés spécifique: Domaine de l’Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.
Plasma etcher Tetra 130 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm Dimensions de la chambre : L 1200 mm, H 700 mm, P 1500 mm Volume de la chambre : env. 140 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 140 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 100 mm, P 1400 mm Volume de la chambre : env. 140 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 140 LF PC V2
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm Volume de la chambre : env. 150 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.
Plasma etcher Tetra 150 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 665 mm, P 700 mm Volume de la chambre : env. 185 litres Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel * ‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).
Plasma etcher Tetra 185 LF PC ‘desmearing’
Armoire électrique (avec commande): L 1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 200 mm, P 1400 mm Volume de la chambre : env. 210 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 210 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 1700 mm, P 3200 mm Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 2600 mm Volume de la chambre : env. 240 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 240 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2500 mm, H 2200 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 650 mm, H 500 mm, P 800 mm Volume de la chambre : env. 260 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 10 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 260 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 360 mm, P 1900 mm Volume de la chambre : env. 375 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 375 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 650 mm Dimensions de la chambre : L 915 mm, H 750 mm, P 725 mm Volume de la chambre : env. 400 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel Automatisation: Le système dispose d’une porte glissante automatique
Plasma etcher Tetra 400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm Dimensions de la chambre : L 750 mm, H 800 mm, P 750 mm Volume de la chambre : env. 420 litres Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 4 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 420 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1500 mm, H 1700 mm, P 200 mm Volume de la chambre : env. 500 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau). Contrôle – Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 500 LF PC
Armoire électrique (avec commande) : L 1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 1200 mm, P 800 mm Volume de la chambre : env. 575 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 575 LF PC
Dimensions du système : L 600 mm, H 2200 mm, P 1200 mm Dimensions de la chambre : L 810 mm, H 810 mm, P 925 mm Volume de la chambre : env. 600 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 1000 mm, P 600 mm Volume de la chambre : env. 600 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC V1
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 1800 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 580 mm, H 730 mm, P 1000 mm Volume de la chambre : env. 600 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC V2
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : ∅ 1100 mm, P 700 mm Volume de la chambre : env. 600 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat:Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 600 LF PC avec tonneau rotatif V1
Armoire électrique (avec commande): L 1500 mm, H 2000 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1300 mm, H 1800 mm, P 400 mm Volume de la chambre : env. 850 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 40 kHz Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 850 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm Dimensions de la chambre : L 600 mm, H 1000 mm, P 2000 mm Volume de la chambre : env. 1200 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 3 unité à 40 kHz Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 1200 LF PC
Dimensions de la chambre : L 1000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm Volume de la chambre : env. 2000 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 1 unité à 13.56 MHz Portes substrats: Plus de 10 portes substrats Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 2000 RF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : ∅ 1100, P 2500 mm Volume de la chambre : env. 2400 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 2400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 1000 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 1350 mm, H 2600 mm, P 1250 mm Volume de la chambre : env. 4400 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 4400 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1800 mm, H 2200 mm, P 1800 mm Dimensions de la chambre : L 2250 mm, H 2450 mm, P 1000 mm Volume de la chambre : env. 5600 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 5600 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2400 mm, H 2300 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 1400 mm Volume de la chambre : env. 7000 litres Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7000 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm Dimensions de la chambre : L 1400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm Volume de la chambre : env. 7300 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7300 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 3000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 1500 mm, H 2500 mm, P 2000 mm Volume de la chambre : env. 7500 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 7500 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 2000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm Dimensions de la chambre : L 1700 mm, H 2800 mm, P 1700 mm Volume de la chambre : env. 8000 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 8000 LF PC
Armoire électrique (avec commande): L 1200 mm, H 2200 mm, P 800 mm Dimensions de la chambre : L 2400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm Volume de la chambre : env. 12600 litres Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz) Porte substrat: Chargement sur un chariot sur rails Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel
Plasma etcher Tetra 12600 LF PC