Gravure d’une surface avec un gaz de process actif. La matière est enlevée, vaporisée et évacuée par le pompage.
Applications :
- Structuration du silicium
- Amélioration de l’adhésion, du collage et des finitions sur des plastiques hautes températures comme le PTFE, le PFA et le FEP.
Silicium avec un masque de gravure avant traitement plasma.
Pendant le traitement plasma.
Après le traitement plasma.
Exemple POM : avant traitement plasma
Après le traitement plasma.