Gravure d’une surface avec un gaz de process actif. La matière est enlevée, vaporisée et évacuée par le pompage.

Applications :

  • Structuration du silicium
  • Amélioration de l’adhésion, du collage et des finitions sur des plastiques hautes températures comme le PTFE, le PFA et le FEP.

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Silicium avec un masque de gravure avant traitement plasma.

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Pendant le traitement plasma.

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Après le traitement plasma.

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Exemple POM : avant traitement plasma

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Après le traitement plasma.