SYSTEME PLASMA ATTO – LOW COST PLASMA CLEANER
Description du système
Applications :
Le système Plasma Atto est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 10,5 litres utilisé dans les domaines suivants :
- Micro-fluidique (PDMS)
- l’analyse (SEM, TEM)
- médical
- recherche et développement
- traitement des textiles
- semiconducteur
- traitement de plastique
Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.
Dimensions du système : L 525 mm, H 275 mm, P 450 mm
Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm
Material de la chambre : Borosilicate
Volume de la chambre : env. 10,5 litres
Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vannes à aiguille
Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/300W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.
Dimensions du système : L 525 mm, H 275 mm, P 450 mm
Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm
Matière de la chambre : Borosilicate
Volume de la chambre : env. 10,5 litres
Alimentation de gaz : 1 à 2 canaux de gaz contrôlés par des contrôleurs de débit massiques (MFC)
Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/300W accord automatique
Pompe à vide : nous consulter
Support de pièce : 1 plateau
Contrôle: Le système est contrôlé par un PC avec un écran tactile intégré de 7 pouces (programme multi-étapes, diagramme temps réel, sauvegarde des données)