Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane (HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.
Applications :
- Dépôt de couches hydrophobes
- Dépôt de couches hydrophiles
- Dépôt de barrière de diffusion
Avant traitement plasma
Pendant le traitement plasma
Après traitement plasma