Quand un gaz (par exemple de l’hexamethyldisiloxane (HMDSO), de l’hexamethyldisilazane (HMDSN), du tetraethylène glycol dimethyl ether) est introduit dans la chambre, du fait de la polymérisation plasma, une couche est déposée sur la surface.

Applications :

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Avant traitement plasma

beschichten2

Pendant le traitement plasma

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Après traitement plasma