PLASMA SYSTEM TETRA 30 / 50 – PLASMA ETCHER

Description du système

Applications :

Les systèmes Plasma TETRA 30 /50 sont des systèmes d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 30 / 50 litres utilisés dans les domaines suivants :

  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • stérilisation
  • recherche et développement
  • archéologie
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de plastique

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Tetra 30 / 50 version 1

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 34 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100/80 kHz de 500 à 3000W – 13,56 MHz de 300W – 2,45 GHz de 600W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

Données techniques Tetra 30 / 50 version 2

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 370 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 34 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 140 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 35 litres

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 305 mm, H 300 mm, P 625 mm

Support de pièce : 1 à 5 plateaux

Volume de la chambre : env 50 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 325 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

Dimensions de la chambre : Ø 280 mm P 540 mm

Support de pièce : Tambour rotatif

Volume de la chambre : env 34 litres

Alimentation de gaz : 2 à 6 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 100/80 kHz de 500 à 3000W – 13,56 MHz de 300W – 2,45 GHz de 600W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 25 à 250 m³/h

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

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