RÉALISATION DE SYSTÈMES SPECIAUX – SPECIAL PLASMA SYSTEMS

 

Plasma etcher Tetra 2 PC - ROLL TO ROLL

Dimensions du système : L  3491 mm, H 1000 mm, P 1278 mm

Dimensions de la chambre : Ø 90 mm, P 1050 mm

Volume de la chambre : env. 2 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation: Traitement au passage (en continu), type ‘Roll-to-Roll’ soit de rouleau à rouleau.

Plasma etcher Tetra 15 LF PC

Armoire électrique (avec commande) :  L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  360 mm, H 150 mm, P 260 mm

Volume de la chambre : env. 15 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unités (chacune à 40 kHz) (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle : Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 30 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  800 mm, H 600 mm, P 500 mm

Dimensions de la chambre : L  240 mm, H 150 mm, P 240 mm

Volume de la chambre : env. 30 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation: Ce système peut être intégré dans une ligne de production.

Plasma etcher Tetra 100 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  2000 mm, H 2200 mm, P 2000 mm

Dimensions de la chambre : L  700 mm, H 200 mm, P 700 mm

Volume de la chambre : env. 100 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation: Ce système dispose d’une « porte tiroir ».

Plasma etcher Tetra 120 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2150 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  1200 mm, H 150 mm, P 1700 mm

Volume de la chambre : env. 120 litres

Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation: Ce système dispose d’une porte automatique.

Plasma etcher Tetra 130 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1800 mm, H 2100 mm, P 1300 mm

Dimensions de la chambre : L  400 mm, H 400 mm, P 810 mm

Volume de la chambre : env. 130 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unités à 13,56 MHz (en option: 40 kHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Propriétés spécifique: Domaine de l’Ultravide (‘UHV’) atteint au moyen d’une pompe turbo-moléculaire.

Plasma etcher Tetra 140 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 650 mm

Dimensions de la chambre : L  1200 mm, H 700 mm, P 1500 mm

Volume de la chambre : env. 140 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 140 LF PC V2

Armoire électrique (avec commande):  L  1000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  1000 mm, H 100 mm, P 1400 mm

Volume de la chambre : env. 140 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

 

Plasma etcher Tetra 150 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1000 mm, H 2100 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L 400 mm, H 600 mm, P 625 mm

Volume de la chambre : env. 150 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automation: Traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau) pour bandes de 400 mm de largeur et rouleau de 300 mm de diamètre.

Plasma etcher Tetra 185 LF PC ‘desmearing’

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  400 mm, H 665 mm, P 700 mm

Volume de la chambre : env. 185 litres

Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

  • ‘Desmearing’* de divers matériaux.
  • Nettoyage des surface
  • Activation des surfaces métalliques
  • 7 baies permettent le traitement simultané de 7 plaques.
  • Traitement en production de plaques avant découpe de 460 x 610 mm

* ‘Desmearing’ : terme spécifique désignant le micro-ébavurage de la périphérie de trous effectués conventionnellement ou par LASER (résidus carbonisés).

Plasma etcher Tetra 210 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1560 mm, H 2350 mm, P 1860 mm

Dimensions de la chambre : L  1000 mm, H 200 mm, P 1400 mm

Volume de la chambre : env. 210 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 240 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 1700 mm, P 3200 mm

Dimensions de la chambre : L  305 mm, H 300 mm, P 2600 mm

Volume de la chambre : env. 240 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 260 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  2500 mm, H 2200 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  650 mm, H 500 mm, P 800 mm

Volume de la chambre : env. 260 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 10 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 375 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  600 mm, H 360 mm, P 1900 mm

Volume de la chambre : env. 375 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 650 mm

Dimensions de la chambre : L  915 mm, H 750 mm, P 725 mm

Volume de la chambre : env. 400 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Automatisation: Le système dispose d’une porte glissante automatique

Plasma etcher Tetra 420 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm

Dimensions de la chambre : L  750 mm, H 800 mm, P 750 mm

Volume de la chambre : env. 420 litres

Alimentation de gaz : 4 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 4 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 500 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  1500 mm, H 1700 mm, P 200 mm

Volume de la chambre : env. 500 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat: 2 systèmes de traitement en continu ‘Roll-to-roll’ (de rouleau à rouleau).

Contrôle – Asservissement Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 575 LF PC

Armoire électrique (avec commande) : L  1150 mm, H 1900 mm, P 1600 mm

Dimensions de la chambre : L  600 mm, H 1200 mm, P 800 mm

Volume de la chambre : env. 575 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat (modulable)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 600 LF PC

Dimensions du système : L  600 mm, H 2200 mm, P 1200 mm

Dimensions de la chambre : L  810 mm, H 810 mm, P 925 mm

Volume de la chambre : env. 600 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 600 LF PC V1

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2200 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  1000 mm, H 1000 mm, P 600 mm

Volume de la chambre : env. 600 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat: 22 niveaux par porte substrat

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 600 LF PC V2

Armoire électrique (avec commande):  L  1800 mm, H 1800 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  580 mm, H 730 mm, P 1000 mm

Volume de la chambre : env. 600 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité avec système d’accord d’impédance automatique

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 600 LF PC avec tonneau rotatif V1

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2200 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : ∅ 1100 mm,  P 700 mm

Volume de la chambre : env. 600 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unité à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat:Tonneau rotatif (avec 4 paniers d’un volume de chacun 30 litres)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 850 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1500 mm, H 2000 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  1300 mm, H 1800 mm, P 400 mm

Volume de la chambre : env. 850 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 40 kHz

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 1200 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1000 mm, H 1000 mm, P 1800 mm

Dimensions de la chambre : L  600 mm, H 1000 mm, P 2000 mm

Volume de la chambre : env. 1200 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 3 unité à 40 kHz

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

 

Plasma etcher Tetra 2000 RF PC

Dimensions de la chambre :  L  1000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm

Volume de la chambre : env. 2000 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 1 unité à 13.56 MHz

Portes substrats: Plus de 10 portes substrats

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 2400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2200 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : ∅ 1100, P 2500 mm

Volume de la chambre : env. 2400 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Portes substrats: Tonneau rotatif (comprenant 16 paniers d’un volume de 30 litres chacun)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 4400 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1800 mm, H 1000 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  1350 mm, H 2600 mm, P 1250 mm

Volume de la chambre : env. 4400 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 5600 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1800 mm, H 2200 mm, P 1800 mm

Dimensions de la chambre : L  2250 mm, H 2450 mm, P 1000 mm

Volume de la chambre : env. 5600 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat: Chargement sur un chariot monté sur rails (En option : Tonneau spécial)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 7000 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  2400 mm, H 2300 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  2400 mm, H 2100 mm, P 1400 mm

Volume de la chambre : env. 7000 litres

Alimentation de gaz : 3 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 7300 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  600 mm, H 2100 mm, P 1200 mm

Dimensions de la chambre : L  1400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm

Volume de la chambre : env. 7300 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 2 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 7500 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  3000 mm, H 2000 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  1500 mm, H 2500 mm, P 2000 mm

Volume de la chambre : env. 7500 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 8000 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  2000 mm, H 1800 mm, P 1000 mm

Dimensions de la chambre : L  1700 mm, H 2800 mm, P 1700 mm

Volume de la chambre : env. 8000 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 4 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

Plasma etcher Tetra 12600 LF PC

Armoire électrique (avec commande):  L  1200 mm, H 2200 mm, P 800 mm

Dimensions de la chambre : L  2400 mm, H 2100 mm, P 2500 mm

Volume de la chambre : env. 12600 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par débitmètres massiques

Générateur : 6 unités chacune à 40 kHz (en option: 13,56 MHz ou 2,45 GHz)

Porte substrat: Chargement sur un chariot sur rails

Contrôle: Par PC (Windows) avec bus industriel

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