PLASMA SYSTEM PICO – PLASMA CLEANER

Description du système

Applications :

Le système plasma Pico est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 5/8 litres utilisé dans les domaines suivants :

  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • Micro-fluidique (PDMS)
  • recherche et développement
  • archéologie
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de tous matériaux
  • Analyse de l’amiante
  • électronique

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Pico version 1

Dimensions du système : L  560 mm, H 320 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 150 mm, P 320 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale.

Données techniques Pico version 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 150 mm, P 320 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale.

Données techniques Pico version 3

Dimensions du système : L  560 mm, H 320 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/1000W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Pico version 4

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 130 mm, P 300 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 160 mm, H 160 mm, P 325 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/1000W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

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