PLASMA SYSTEM NANO – PLASMA CLEANER

Description du système

Applications :

Le système plasma Nano est un système d’activation et de nettoyage par plasma d’une capacité de 18 à 34 litres utilisé dans les domaines suivants :

  • médical
  • recherche et développement
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de plastique
  • électronique

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Nano version 1

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 240 mm, P 400 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 267 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 à 3 plateaux

Volume de la chambre : 18 / 24 litres

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par la vanne à aiguille

Générateur : 40/80 kHz de 200 à 1000W – 13,56 MHz de 100 à 300W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

Données techniques Nano version 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 240 mm, P 400 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 267 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 à 3 plateaux

Volume de la chambre : 18 / 24 litres

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40/80 kHz de 200 à 1000W – 13,56 MHz de 100 à 300W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Nano version 3

Dimensions du système : L  560 mm, H 600 mm, P 520 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 240 mm, P 400 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 267 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm

Support de pièce : 1 à 3 plateaux

Volume de la chambre : 18 / 24 litres

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40/80 kHz de 200 à 1000W – 13,56 MHz de 100 à 300W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 18 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

Données techniques Nano version 4

Dimensions du système : L  600 mm, H 1700 mm, P 800 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 240 mm, P 400 mm // Ø 240 mm, P 600 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 267 mm, P 420 mm // Ø 267 mm, P 600 mm

Support de pièce : 1 plateau

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : L 240 mm, H 240 mm, P 420 mm // L 240 mm, H 240 mm, P 600 mm

Support de pièce : 1 à 3 plateaux

Volume de la chambre : 18 à 34 litres

Alimentation de gaz : 2 à 4 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40/80 kHz de 200 à 1000W – 13,56 MHz de 100 à 300W – 2,45 GHz de 600W

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 16 à 65 m³/h

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 43 cm, le logiciel en français, windows, permet une utilisation très conviviale.

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