SYSTEMES PLASMA FEMTO – PLASMA CLEANER

Description du système

Applications :

Le système Plasma FEMTO est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 2,6 litres utilisé dans les domaines suivants :

  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • Micro-fluidique (PDMS)
  • recherche et développement
  • archéologie
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de plastique
  • Analyse de l’amiante

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Femto version 1

Dimensions du système : L  345 mm, H 211 mm, P 420 mm

Matériel de la chambre : verre / Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Volume de la chambre : env. 2,6 litres

Alimentation de gaz : 1 canal de gaz réglable par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/50W  fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 2.5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale.

Données techniques Femto version 2

Dimensions du système : L  560 mm, H 220 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : verre / Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Volume de la chambre : env. 2,6 litres

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/50W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 2.5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale.

Données techniques Femto version 3

Dimensions du système : L  320 mm, H 620 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm / L 103 mm, H 103 mm, P 280 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par vanne à aiguille

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 2.5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable digitale

Données techniques Femto version 4

Dimensions du système : L  560 mm, H 220 mm, P 600 mm

Matériel de la chambre : Borosilicate / Quartz

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm

Matériel de la chambre : Acier inoxydable

Dimensions de la chambre : Ø 95 mm, P 280 mm / L 103 mm, H 103 mm, P 280 mm

Alimentation de gaz : 2 canaux de gaz réglables par contrôleur de débit massique (MFC)

Générateur : 40kHz/100W ou 13,56 MHz/50W/80W fixed matching

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 2.5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Automatique du système via un écran tactile de 9 cm, le logiciel en français, de type windows, très intuitif, permet une utilisation très conviviale.

 

Pour toutes questions techniques veuillez nous contacter.