SYSTEME PLASMA ATTO – LOW COST PLASMA CLEANER

Description du système

Applications :

Le système Plasma Atto est un système de plasma semi-automatique de laboratoire d’une capacité de 10,5 litres utilisé dans les domaines suivants :

  • Micro-fluidique (PDMS)
  • l’analyse (SEM, TEM)
  • médical
  • recherche et développement
  • traitement des textiles
  • semiconducteur
  • traitement de plastique

Pointez sur l’image pour voir les différentes versions.

Données techniques Atto version 1

Dimensions du système : L  525 mm, H 275 mm, P 450 mm

Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm

Material de la chambre : Verre ou Quartz

Volume de la chambre : env. 10,5 litres

Alimentation de gaz :  2 canaux de gaz réglables par vannes à aiguille

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W ou 200W accord automatique

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: manuel du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

Données techniques Atto version 2

Dimensions du système : L  525 mm, H 275 mm, P 450 mm

Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm

Material de la chambre : Verre ou Quartz

Volume de la chambre : env. 10,5 litres

Alimentation de gaz :  2 canaux de gaz réglables par vannes à aiguille

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W ou 200 W accord automatique

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: semi automatique du système, la durée du traitement est contrôlée par une horloge programmable / analogique.

Données techniques Atto version 3

Dimensions du système : L  525 mm, H 275 mm, P 450 mm

Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm

Matière de la chambre : Verre ou Quartz

Volume de la chambre : env. 10,5 litres

Alimentation de gaz : 1 à 2 canaux de gaz contrôlés par des contrôleurs de débit massiques (MFC)

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W accord automatique

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Le système est contrôlé par un PC avec un écran tactile intégré de 7  pouces (programme multi-étapes, diagramme temps réel, sauvegarde des données)

 

Données techniques Atto version 4

Dimensions du système : L  525 mm, H 275 mm, P 450 mm

Dimensions de la chambre : Ø 211 mm, P 300 mm

Material de la chambre : Verre ou Quartz

Volume de la chambre : env. 10,5 litres

Alimentation de gaz : 1 à 2 canaux de gaz contrôlés par des contrôleurs de débit massiques (MFC)

Générateur : 40kHz/200W ou 13,56 MHz/50W accord automatique

Pompe sous-vide : Capacité d’aspiration: 5 m³/h

Support de pièce : 1 plateau

Contrôle: Le système est contrôlé par un PC (fourniture client), programme multi-étapes, diagramme temps réel, sauvegarde des données