MEMS

Acronyme désignant des systèmes microélectroniques alliant mécanique et électronique (micro-électronique-mécanical-system). Sur une même puce semi-conductrice, peuvent être présents simultanément : des microprocesseurs, des vannes, des miroirs, des capteurs, etc. Les MEMS sont, par exemple, utilisés dans les capteurs de décélération des airbags ; ils permettent d’abaisser les coûts et d’augmenter la fiabilité.